合景淨化工程:半導體車間淨化潔淨度級別及標準

半導體淨化車間

潔淨度等級標準及要求半導體特性決定其製造過程必須有潔淨度要求,環境中雜質對半導體的特性有著改變或破壞其效能的作用,而雜質各式各樣,如金屬離子會破壞半導體器件的導電效能,塵埃粒子破壞半導體器件的表面結構等,所以在半導體器件生產過程中對什麼都須嚴格控制。針對這個問題,合景

淨化工程公司

有著自己的專業技術和行業經驗,服務了眾多行業頭部企業,經過合景淨化接手的全國各地廠房建設均獲得了優質工程建設的榮譽。

合景淨化工程:半導體車間淨化潔淨度級別及標準

在半導體制造業中,由於其昂貴裝置的min感性和製造過程的複雜性,工廠的佈局變得不可以輕易更改,初始的不合理佈局結果會導致龐大的物料搬運成本、無效的生產以及重新佈局時所需要的大量成本。特別是迅速發展的亞微米工藝對生產場所空氣潔淨度要求特別高,所有半導體制程裝置都須安置在隔絕粉塵進入的密閉空間中,這樣,工廠投產以後整體生產系統才能發揮大的生產效能。

半導體器件生產環境按單位體積重規定的塵埃粒子數標準分成潔淨度的等級。一般分為:10級、100級、1000級、10000級、100000級,國際標準IOS14644-1、國標GB50073-2013、美聯邦標準中均有規定潔淨室和潔淨區內空氣以大於或等於被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。

電子產品效能、質量的提高和生產過程的微細化,日益要求生產環境具有一定的空氣潔淨度級別和控制淨化車間內工藝生產所需的各類高純物質的供給質量,目前國內外還沒有統一電子產品的空氣潔淨度等級或生產環境控制要求的統一規定,各種電子產品的生產廠家依據其生產的產品品種、所採用的生產工藝技術、生產工藝裝置、生產用原輔料以及淨化車間執行的實踐經驗確定設計建造

淨化車間

的空氣潔淨度級別等級(如下表格)。

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