矽片的製造工藝
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矽片的製造工藝

經前述加工製程後,矽片表面因加工而形成一層損傷層(Damaged Layer),在拋光之前用化學溶液蝕刻予以去除,再以純水沖洗吹乾,利用噴砂法等工藝將矽片上的缺陷處理完善,從而製造出完整而無缺陷的晶圓片材料...

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