《炬豐科技-半導體工藝》氮化物深紫外LED研究新進展
關鍵詞 AlN, GaN, AlGaN, 紫外發光二極體UV LED 異質外延製備的襯底選擇圖 2 所示為 DUV LED 的典型外延結構, 對應可選 擇的襯底主要有藍寶石(Sapphire)、碳化矽(SiC)、矽(Si) 等異質襯底以及G...
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