陸芯半導體:晶圓劃片機刀片選型分析

目前半導體精原材料在不斷的變化,這也對晶圓劃片機尤其是其劃片刀的效能,也提出了新的要求,無論是在加工效率還是在質量上都有著更高的標準。就目前來看總共是劃分為鐳射劃片和超薄金剛石劃片兩種。

陸芯半導體:晶圓劃片機刀片選型分析

技術分析

從生產成本進行考慮,採用鐳射切割機進行加工生產,其成本相對比較高。而在現階段受制於技術和成本,大多數都採用的是高精度劃片機,在機械物理應力的作用之下,容易導致晶圓在切割過後產生不同型別的品質異常現象,比如常見的就有產品表面和背面chipping以及分層和缺角等問題。

劃片刀選型的要素分析

考慮到金剛石磨粒在整個切割的過程中是起到了極其重要的切削作用,通常情況下,材料的選擇是以人造金剛石和立方碳化硼為主。其顆粒尺寸應該是在1-8um之間變化。但是為了能夠達到更好的切割質量,因此通常會選擇帶有稜角的金剛石,所以在選型上就需要注重磨粒的尺寸度問題以及結合劑特性和刀刃的長度以及厚度。

陸芯半導體:晶圓劃片機刀片選型分析

在今後隨著晶片技術也正在朝著小型化大容量化方向發展,整體的結構會變得愈加複雜,並且其有效空間會越來越狹窄。而這也就導致切割空間以及切割技術的要求是變得越來越高,對此劃片刀的製作工序和工藝也要不斷提高,同時還需要更多的先進技術和工藝,要嚴格控制滑刀片輪轂的平整度和表面的粗糙度等問題。

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